深入探討氮化矽,即SiNx或Si3N4,這種在柔性電子領域至關重要的材料,在多層結構中的機械可靠性。
隨著柔性電子產品,如可折疊顯示器、穿戴式感測器,以及醫療應用感測器等技術的迅速發展,其對輕薄、可彎曲、甚至可捲動設備的需求日益增長。
在這些創新應用中,多層薄膜結構扮演著核心角色,而氮化矽因其優異的性能,常被選作關鍵材料,特別是用作滲透阻擋層或電路層。
然而,這類脆性薄膜在重複彎曲和製造過程中,其機械完整性面臨巨大挑戰,而這直接關係到柔性設備的最終壽命和功能性。
接下來,我們將借鑒三份重要文獻的研究成果,全面解析氮化矽在柔性多層結構中的應力-應變行為、失效機制以及提升其可靠性的方法。
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