In dieser Podcast-Episode sprechen wir über die Numerische Apertur (NA) in der EUV-Lithografie – den vielleicht wichtigsten Hebel für Auflösung und Strukturgröße auf modernen Chips. Wir erklären, was NA physikalisch bedeutet, wie sie Auflösung und Tiefenschärfe beeinflusst und warum der Sprung von „Low-NA“ zu „High-NA“ ein Gamechanger für künftige Technologieknoten ist. Außerdem beleuchten wir, welche Auswirkungen höhere NA auf Scanner-Design, Prozessfenster und Kosten pro Wafer hat – und warum das die Strategien von Herstellern wie ASML, Intel und TSMC direkt mitbestimmt.

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