「ASMLジャパン　日本国内3カ所目のEUV導入、藤原社長「可能性大いにある」」 先端半導体の製造に欠かせない極端紫外線（EUV）露光装置メーカーとして知られるオランダのASML。同社製品は日本でも半導体受託製造（ファウンドリー）のRapidus（ラピダス、東京都千代田区）、米DRAM大手マイクロン・テクノロジーの広島工場（広島県東広島市）が導入する。