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廃棄シリコンとCO₂からSiCパワー半導体材料 レゾナックと東北大が共同研究


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「廃棄シリコンとCO₂からSiCパワー半導体材料 レゾナックと東北大が共同研究」 レゾナックと東北大学は8日、シリコンスラッジ(シリコンウエハーの製造課程で発生する廃棄物)とCO₂からSiC(炭化ケイ素)を作る技術をSiCパワー半導体材料の結晶成長に応用するための共同研究について、本格検討を開始したと発表した。
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