148：纳米尺度的加工

什么是微纳加工技术？为什么7nm成为了半导体发展的瓶颈？常用的衬底与薄膜材料有哪些？微纳加工中的有没有什么特殊的工艺？本期极客：复旦大学微纳系统中心副研究员 陆冰睿专业方向：电子束光刻、纳米压印光刻等微纳加工技术原理及应用；基于微纳加工的纳米光子学研究（超材料及超表面、二维光子晶体、表面等离子体等）及相关光学检测应用