Los alemanes crearon una serie de instalaciones de detención para encarcelar y eliminar a los “enemigos del estado.” La mayoría de los prisioneros en los primeros campos de concentración era comunistas alemanes, socialistas, social demócratas, romas (gitanos), testigos de Jehová, homosexuales, clérigos cristianos, y personas acusadas de comportamiento “asocial” o anormal.

Después de la anexión de Austria en marzo de 1938, los nazis arrestaron judíos alemanes y austriacos y los encarcelaron en los campos de Dachau, Buchenwald, y Sachsenhausen, en Alemania. Después de los pogroms de Kristallnacht en noviembre de 1938, los nazis llevaron a cabo arrestos masivos de hombres judíos y los encarcelaron en campos por periodos breves.

Equipos especiales de las SS llamados “Unidades de la calavera” (Totenkopfverbände) vigilaban los campos, y competían unos con otros en crueldad. Durante la Segunda Guerra Mundial, médicos nazis hacían experimentos sobre los prisioneros de algunos campos. Bajo el impacto de la guerra, el sistema de campos nazis creció rápidamente. Después de la invasión alemana de Polonia en septiembre de 1939, los nazis abrieron campos de trabajos forzados donde miles de prisioneros murieron de agotamiento y hambre.

Después de la invasión alemana de la Unión Soviética en junio 1941, los nazis aumentaron el numero de campos de prisioneros de guerra. Algunos de los campos fueron construidos dentro de campos de concentración ya existentes, como en Auschwitz en la Polonia ocupada. El campo de Lublin, luego conocido como Majdanek, fue creado en el otoño de 1941 como un campo de prisioneros de guerra y fue convertido en campo de concentración en 1943. Miles de prisioneros de guerra soviéticos fueron fusilados o gaseados ahí.

Para facilitar la “Solución Final” (el genocidio de los judíos), los nazis abrieron campos de exterminio en Polonia. Chelmno, el primer campo de exterminio, abrió en diciembre de 1941. Ahí los judíos y romas fueron gaseados en camiones. En 1942, los nazis abrieron Belzec, Sobibor, y Treblinka para asesinar sistemáticamente a los judíos del Gobierno General (el territorio en el interior de la Polonia ocupada).

Los nazis construyeron cámaras de gas para aumentar la eficiencia del proceso y para hacerlo más impersonal para los verdugos. En Auschwitz, el campo de exterminio de Birkenau tenía cuatro cámaras de gas. Al culminar las deportaciones, hasta ocho mil judíos fueron gaseados cada día.

Los judíos en los territorios ocupados por los nazis eran a menudo primero deportados a campos provisionales, como Westerbork en Holanda, o Drancy en Francia. Los campos provisionales eran usualmente la ultima parada antes de un campo de exterminio.

Bajo la dirección de las SS, los alemanes mataron más de tres millones de judíos en los campos de exterminio de la Polonia ocupada.