「0.1㎛超高平坦度実現へ…小口径ウエハー一貫生産、カーリット・長野工場の競争力」　カーリットは長野工場（長野県佐久市）において直径６インチを中心とした小口径シリコンウエハーの品質向上などを通じ競争力を高めている。小口径ウエハーを、単結晶から加工まで一貫生産できる点などが強みだ。さらに次世代対応を見据え、０・１マイクロメートル（マイクロは１００万分の１）といった超高平坦度の小口径ウエハーの実現も視野に入れる。より高品質な同ウエハーを実現することで、さまざまな需要に対応する。（山岸渉）