「半導体微細化に貢献、成熟技術「電磁バルブ」に起きつつある革新」　研究され尽くしたと考えられてきた電磁バルブに革新が起きつつある。東京大学が１０ミリ秒で目標流量を実現する精密流体制御技術を開発した。電磁弁を高速駆動して空気の振動を打ち消し、従来の約５０分の１の時間で流量を安定させた。地味な成果だが応用は広い。半導体製造装置では原子一つ分の薄さで元素を積層し、免震装置ではわずかな振動を打ち消せると見込まれる。成熟した技術にもイノベーションの芽が眠っている。（小寺貴之）