「蘭ASML製と互換性…ニコン、ArF液浸露光装置を28年度投入」　ニコンは２０２８年度に新しいプラットフォームを採用したフッ化アルゴン（ＡｒＦ）液浸露光装置を投入する。半導体露光装置でシェアトップの蘭ＡＳＭＬ製装置との互換性を追求し、顧客の工場で導入しやすくする。現在、半導体メーカーと共同開発を進めており、同年にプロトタイプを納入する計画だ。