「光電融合デバイス照準。アドバンテスト・テラダイン…半導体検査装置が動き出した」 光の特性を生かしてデータ伝送を行う技術「シリコンフォトニクス」分野の本格的な始動に向け、半導体検査装置業界が動き出した。アドバンテストはプローブカードなどを手がける米フォームファクターなどと連携し、2026年度内にシリコンフォトニクスの量産工程向けの検査装置を出荷する。競合の米テラダインは独FiconTECとの提携、光集積回路検査を手がける米クオンティファイ・フォトニクスの買収を通じて開発を進める。AI(人工知能)向けの低消費電力の通信需要に応える。(豊原秀平)