「生産能力３倍へ…東京エレクトロン、AIで半導体製造装置の開発期間短縮」　東京エレクトロンはロボットやＡＩ（人工知能）などを使い、半導体製造装置の生産効率を高める技術を開発する。ＡＩを活用し、装置の開発や立ち上げなどの期間を短縮させる。製造子会社・東京エレクトロン宮城（宮城県大和町）の本社工場（同）内に２０２７年夏に完成予定の新棟で先行導入し、将来的に装置の生産能力を３倍に高める。年間約１００億円のコスト削減効果を目指す。半導体の国際団体ＳＥＭＩによると、半導体産業は３０年に１兆ドルまで伸びる。同社も同年以降を見据える。