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酸化物で金並み導電性…最先端半導体に提案、微細配線材の実力


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「酸化物で金並み導電性…最先端半導体に提案、微細配線材の実力」 物質・材料研究機構の原田尚之独立研究者は、酸化物で金並みの導電性を持つ微細配線材料を開発した。27ナノメートル(ナノは10億分の1)の膜厚で電気抵抗が4マイクロオームセンチメートル(マイクロは100万分の1)となった。安定性が高いため、微細配線に電流を流すと金属原子が拡散するエレクトロマイグレーションが発生しないと見込まれる。最先端半導体の微細配線に提案していく。
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