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EP143 | 台積電2奈米環繞閘極GAA關鍵！工研院新創「NanoSeeX」手握獨步全球技術曝光！
半導體先進製程，未來將進入到3奈米以下的環繞閘極(GAA)結構，台積電、英特爾、三星都已經宣布未來的2奈米製程已經確定會使用環繞閘極(GAA)結構，不過要將GAA的良率提高非常困難。
良率要提高必須在每一層結構都要檢測，工研院新創「NanoSeeX」獨步全球技術，使用X光來進行非破壞性檢測，怎麼做到的？今天很開心邀請到工研院量測中心組長：傅尉恩博士，跟大家一起來聊聊這項重磅計畫！
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By 曲博
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半導體先進製程，未來將進入到3奈米以下的環繞閘極(GAA)結構，台積電、英特爾、三星都已經宣布未來的2奈米製程已經確定會使用環繞閘極(GAA)結構，不過要將GAA的良率提高非常困難。
良率要提高必須在每一層結構都要檢測，工研院新創「NanoSeeX」獨步全球技術，使用X光來進行非破壞性檢測，怎麼做到的？今天很開心邀請到工研院量測中心組長：傅尉恩博士，跟大家一起來聊聊這項重磅計畫！
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