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EP56 | 5奈米可以不用EUV！？日廠領軍！奈米壓印微影(NIL)大突破！
EUV在半導體製程進入7奈米節點之後，是非常重要的光學微影設備，但各位知道一台12吋5奈米極紫外光EUV要高達美金1.5億元，相當於一台F35閃電第二代的價格，是造價非常昂貴的機器，而這次日本記憶體大廠鎧俠(Kioxia)與合作夥伴開發新技術，希望不用極紫外光設備就能生產5奈米晶片，究竟是怎麼一回事，就讓我們來看看！
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By 曲博
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EUV在半導體製程進入7奈米節點之後，是非常重要的光學微影設備，但各位知道一台12吋5奈米極紫外光EUV要高達美金1.5億元，相當於一台F35閃電第二代的價格，是造價非常昂貴的機器，而這次日本記憶體大廠鎧俠(Kioxia)與合作夥伴開發新技術，希望不用極紫外光設備就能生產5奈米晶片，究竟是怎麼一回事，就讓我們來看看！
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